下载一种气体传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:19816903

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本发明提供了一种气体传感器及其制备方法。该气体传感器是由传感器芯片和帽结构组成,帽结构的表面具有多个通孔,帽结构直接盖合在传感器芯片上,且帽结构的表面与传感器芯片之间具有预设间距,以避免表面与传感器芯片接触,传感器芯片包括:基底;感测电极,...
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