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本发明公开了一种三腔薄膜反馈式静压导轨滑块，包括滑块主体，所述滑块主体的前端开设有侧面油腔，且滑块主体的上方开设有保持油腔，所述滑块主体的下方开设有抬升油腔，且滑块主体的上方设置有与外部供油设备连通的进油口。该装置可以通过检测侧面油腔和抬升...
该专利属于机械科学研究总院海西（福建）分院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过机械科学研究总院海西（福建）分院有限公司授权不得商用。

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