下载一种低压液路集成块及其加工工艺的技术资料

文档序号:19811596

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本发明涉及一种低压液路集成块及其加工工艺,该液路集成块包括下层基底、中间层基底和上层基底,下层基底的上表面、中间层基底正反面和上层基底的下表面均设有半个流道沟槽,中间层基底分别与下层基底和上层基底键合,互为镜像的流道沟槽键合后形成密封流道;...
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