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本发明涉及一种用于半导体掩膜板涂胶的旋转夹紧卡盘，包括腔体中盖、腔体底板、旋转组件及升降组件，腔体中盖固定在腔体底板上，旋转组件包括旋转卡盘、旋转轴及旋转驱动件，旋转驱动件可通过旋转轴驱动旋转卡盘旋转，升降组件包括升降板、滑动轴及升降驱动件...
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