下载一种全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:19810348

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本发明公开了一种全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法。其产品由三块玻璃片和一块压电材料构成。三块玻璃片自上到下堆叠构成的驻波反应腔,上层玻璃片利用激光开有用于流体进出的孔口,并在表面孔口上面键合一块开有对应孔口的较厚的聚二甲基硅氧烷(PD...
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