下载蒸镀源、蒸镀装置的技术资料

文档序号:19804024

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本发明提供一种蒸镀源、蒸镀装置,属于显示技术领域,其可解决现有的真空成膜装置的成膜均一性较差的问题。本发明的蒸镀源包括蒸镀本体,其与待进行镀膜的基板相对设置,用于向所述基板表面沉积蒸镀材料,所述蒸镀源还包括:设置在所述蒸镀本体与所述基板之间...
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