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本发明公开了一种基于全复合板谐振腔的谐振器，包括多个侧板，所述多个侧板拼接形成封闭的谐振腔，其中，所述侧板为复合板，所述复合板包括基板和设置于所述基板的表面上的金属层。本发明的谐振器的谐振腔的每个表面均可以达到较低的表面粗糙度，并且腔体表面...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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