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本发明公开了一种多色LED阵列外延工艺方法及装置，装置中包括用于多色LED阵列外延生长的反应腔体以及若干飞秒激光源，反应腔内设有载片托盘，载片托盘上放置有用于LED制备的外延衬底，反应腔体上设置有光通道窗口，光通道窗口上安装有扫描滑动装置，...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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