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本发明涉及一种基板处理系统，并提供了一种处理用于基板与基板(例如，晶圆与晶圆)对准和键合应用的精确对准和定心半导体基板(例如，晶圆)对的工业规模的系统和方法。一些实施方式包括具有框架构件和间隔器组件的对准的基板传送装置。可以使用对准的基板传...
该专利属于苏斯微技术光刻有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏斯微技术光刻有限公司授权不得商用。

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