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本公开涉及基板交接方法以及基板处理装置。对载置台上载置的基板的中心位置的位置偏移进行适当地校正。通过使以突出缩回自如的方式设置于载置台的多个销突出来接收基板，在基板被多个销支承的状态下检测基板的规定部分的位置，利用检测结果估计基板的中心位置...
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