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本发明公开了一种硅片清洗设备，两运输装置，用于硅片的长距离的直线运输，两运输装置上下平行，一传送装置，用于硅片的短距离的直线和曲线运输，所述传送装置位于所述运输装置右侧，一清洗装置，所述清洗装置位于所述传送装置下侧；一干燥装置，用于去除清洗...
该专利属于江苏德尔科测控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏德尔科测控技术有限公司授权不得商用。

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