下载一种薄膜晶体管的制作方法及薄膜晶体管的技术资料

文档序号:19781775

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本发明公开了一种薄膜晶体管的制作方法及薄膜晶体管。该方法包括:提供一基板,在基板上形成半导体有源层,其中,半导体有源层包括交错设置的多个第一有源区和多个第二有源区;在半导体有源层上形成介电层,其中,介电层设置在外侧的两个第一有源区之间;在半...
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