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一种降低栅极存储电荷的MOSFET场效应管元胞结构制造技术
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下载一种降低栅极存储电荷的MOSFET场效应管元胞结构的技术资料
文档序号:19780200
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本实用新型公开了一种降低栅极存储电荷的MOSFET场效应管元胞结构,包括衬底,衬底背面设有背面金属层,正面生长有外延层,外延层的主表面部分设有场氧化层,外延层的主表面还扩散有阱区,且阱区内设有两个源区,阱区和源区为所述外延层主表面的一部分,...
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