下载粉体的包覆方法与溅射设备的技术资料

文档序号:19771237

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本发明提供了一种粉体的包覆方法及其用途与溅射设备,涉及粉体制备领域,该粉体的包覆方法是将粉体悬浮于溅射工艺设备中的溅射腔内,通过溅射工艺在所述粉体表面制备包覆层。利用该方法能够缓解现有的包覆方法在粉体颗粒形成的包覆层均匀性差,无法在粉体表面...
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