下载一种薄膜晶体管的制备方法和薄膜晶体管的技术资料

文档序号:19749110

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本发明提供了一种薄膜晶体管的制备方法和薄膜晶体管,涉及TFT‑LCD技术领域。其中,薄膜晶体管包括衬底;同层设置在衬底上的栅极和第一极;形成在第一极上的有源层,有源层在衬底上的正投影至少部分覆盖第一极在衬底上的正投影;第一绝缘层;形成在第一...
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