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欧姆接触结构及具有此欧姆接触结构的半导体元件制造技术
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下载欧姆接触结构及具有此欧姆接触结构的半导体元件的技术资料
文档序号:19749097
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本发明实施例公开一种欧姆接触结构及具有此欧姆接触结构的半导体元件。该欧姆接触结构包括半导体层、掩模层、外延层及电极层。半导体层具有设置面。掩模层具有第一侧、第二侧及多个通孔,其中第一侧结合于设置面,第二侧背向设置面,通孔由第二侧延伸至第一侧...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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