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一种含有II族元素的非晶氧化物半导体薄膜与薄膜晶体管制造技术
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下载一种含有II族元素的非晶氧化物半导体薄膜与薄膜晶体管的技术资料
文档序号:19749087
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本发明提供了一种含有II族元素的非晶氧化物半导体薄膜与薄膜晶体管。该半导体的化学通式为ZnBMO或ZnBAMO,其中M=In或Sn,B=Be或Mg或Ca或Sr或Ba,A=Al或Ga或Zr或Hf或Ti或Mg或Si或Ge或Nb或Sc或Y或V或T...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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