下载一种非晶金属VI族化合物半导体薄膜与薄膜晶体管的技术资料

文档序号:19749085

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本发明公开了一种非晶金属VI族化合物半导体薄膜与薄膜晶体管,所述的非晶金属VI族化合物半导体的化学通式为ZnMV或ZnAMV,其中M=In或Sn,A=Al或Ga或Zr或Hf或Ti或Mg或Si或Ge或Nb或Be或Ca或Sr或Ba或Sc或Y或V...
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