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本发明公开了一种微波等离子火炉装置，涉及一种热源器件，其技术方案要点包括火炬发生器以及与所述火炬发生器连接的管理控制模块和送气模块；所述火炬发生器包括微波谐振腔体、设置在所述微波谐振腔体下侧的微波发生器、以及设置在所述微波谐振腔体内的放电管...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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