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一种通孔电沉积制备锡纳米线的方法技术
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文档序号:19735666
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本发明公开了一种直流电沉积制备锡纳米线的方法,属于电子材料领域。该方法首先以纳米多孔聚碳酸酯膜或阳极氧化铝膜(AAO)为模板,通过磁控溅射的方法在模板底部溅射银种子层,并在通孔底端以铜为底板,然后采用直流电镀方式从种子层底端向通孔内填充锡纳...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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