下载一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W-N硬质膜的方法的技术资料

文档序号:19735559

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本发明公开了一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W‑N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗,然后对其表面进行离子清洗与刻蚀,而后在硬质合金表面沉积致密W‑N硬质膜过渡层,接着在过渡层上原位沉积W‑N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光...
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