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本实用新型涉晶体制造设备技术领域，具体涉及一种采用水环式真空泵的直拉单晶炉装置，直拉单晶炉装置包括拉伸腔和炉膛，在所述拉伸腔和炉膛之间设有隔离阀，滑阀真空泵通过管路分别连接于所述拉伸腔和炉膛，在所述滑阀真空泵与所述拉伸腔之间的管路上设有第一...
该专利属于安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司授权不得商用。

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