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本发明公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速...
该专利属于河南科技学院所有，仅供学习研究参考，未经过河南科技学院授权不得商用。

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