一种卷到卷高效连续化学机械抛光机制造技术

本发明专利技术公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本发明专利技术提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll‑to‑Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种卷到卷高效连续化学机械抛光机
本专利技术涉及微电子、光电子、柔性显示器衬底制造中的超精密加工
，特别是涉及一种卷到卷高效连续化学机械抛光机。
技术介绍
微电子、光电子、集成电路制造是集国家利益、人类智慧和最新科技于一体的基础性和战略性产业，是衡量一个国家地位和综合国力的重要标志之一，是当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域，只有掌握先进的微电子及光电子制造技术才能有效地控制成本和扩大生产规模，才能在激烈的市场竞争中生存和发展。微电子及光电子先进制造作为国民经济的基础产业、先导产业、支柱产业和战略性产业，对我国国民经济、国家安全、人民生活和社会进步正在发挥着越来越重要的作用。随着科学技术的进步和不断发展，柔性显示技术正逐渐改善人们的生活和交流，并显著推进着信息可视化。近年来，柔性显示的优势日益突出，柔性电子与作为平板显示的LCD、OLED和等离子体显示相比，具有超薄、质量轻、耐用、储存量大、设计自由，可挠曲、可收卷和耐冲击等性能，广泛适用于移动电话、个人数字助理PDA、笔记本电脑、商标、安全身份文件、电子书、电子海报、汽车仪表板、RF识别系统、传感器、环境显示、医疗、普通照明、机器人感觉皮肤等工业、民用及军事行业，柔性显示器还可以让显示屏更容易成为装饰材料，利用柔性显示的可弯曲特性使得工程设计不局限于平面化，可实现多元化外型的显示模式。柔性显示巨大的市场前景，使许多国家和地区的研究机构及生产厂商投入到柔性显示技术的研究与应用中，并取得了显著的成果。当前，柔性电子还处在即将产业化的前夜，仍然还存在很多的技术瓶颈，对于材料、工艺、设计等还处在研究和探索的阶段。柔性显示技术是集大规模集成电路、精密加工技术、光电子技术于一体高新技术产业，涉及半导体、光学、微电子、化学材料、精密机械与加工等众多的高科技领域。在柔性显示器件中，柔性衬底是研发柔性显示的基础。平板显示器都是以玻璃基板为衬底制作的，而柔性显示器则是以柔性材料为衬底，其对柔性衬底的表面质量要求与玻璃基板一样，表面平整度和厚度要求非常严格，要实现柔性衬底的表面质量和加工精度，目前最常用的方法是表面抛光技术。化学机械抛光技术被认为是能兼顾表面粗糙度和表面平整度要求的最好的工艺方法，已成为硬脆性晶体材料、金属材料及其它材料实现表面超光滑无损伤加工的最实用技术之一，并且广泛应用于超大规模集成电路、半导体照明、光学玻璃、平板显示等光电子、微电子、航空航天及机械工程等领域。经过分析与研究，化学机械抛光技术可能是最适合的、且完全能用于大尺寸超薄柔性显示衬底表面的Roll-to-Roll(卷到卷)高效超精密加工中，来获得超光滑无损伤的加工表面。开发柔性显示器的另一个重要因素在于其工艺可能由Sheet-fedbatchprocessing(单张批量生产)转换成Roll-to-Rollmanufacturing(卷到卷生产)，效率大大提高，意味着显示器的成本可能大大降低。具有超光滑表面的柔性显示衬底具有不可估量应用前景。但是目前，市场上还没有Roll-to-Roll高效柔性显示衬底的超精密加工技术，还没有适合Roll-to-Roll高效生产柔性显示衬底的专用工具、设备与工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，以解决上述现有技术存在的问题，用于超薄柔性显示衬底的Roll-to-Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个所述抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。可选的，所述放卷装置包括放卷机架和放卷辊，所述放卷辊两端分别连接有连接轴，所述连接轴通过深沟球轴承和轴承座设置于所述放卷机架上；其中一个所述连接轴外侧连接有制动盘，所述制动盘外套设有制动器壳；所述放卷机架上安装有收集箱，所述收集箱位于所述放卷辊下方。可选的，所述收卷装置包括收卷机架和收卷辊，所述收卷辊一端通过连接轴设置于所述收卷机架上，另一端通过传动轴设置于所述收卷机架上，所述传动轴端部连接有减速电机。可选的，所述第一水平调速检测装置包括调速机架，所述调速机架上安装有水平调节辊；所述调速机架顶端安装有传感器机架，所述传感器机架下端安装有传感器探头，所述传感器探头位于所述水平调节辊上方；所述第二水平调速检测装置与第一水平调速检测装置结构相同。可选的，所述抛光辊包括对称设置的上抛光辊和下抛光辊；所述抛光辊装置包括抛光辊快速装卸机构，所述抛光辊快速装卸机构包括抛光辊机架，所述抛光辊机架通过抛光辊支撑装置分别与所述上抛光辊和所述下抛光辊连接；所述抛光辊支撑装置外侧通过联轴器连接有转轴，所述转轴外侧连接有变频电机；所述抛光辊支撑装置包括设置于所述抛光辊机架上的抛光辊轴承座。可选的，所述抛光辊装置还包括抛光压力调整机构，所述抛光压力调整机构包括设置于所述抛光辊机架上的导轨，所述上抛光辊通过所述转轴和抛光辊轴承座设置于所述导轨上；所述抛光辊机架上穿设有螺杆，所述螺杆下端通过连接机构连接有连接杆，所述连接杆设置于所述抛光辊轴承座上，所述抛光辊轴承座下端通过支撑螺杆设置于所述抛光辊机架上。可选的，所述支撑螺杆上设置有与所述抛光辊轴承座底部连接的压缩弹簧，所述抛光辊轴承座与所述连接杆通过压力传感器连接；所述支撑螺杆底部通过支撑圆珠与所述抛光辊机架连接。可选的，所述抛光辊表面设置有抛光垫。可选的，所述第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置之间设置有六个所述抛光辊装置。本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：本专利技术提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机可以很好地克服现有传统机械抛光技术对超薄柔性衬底材料进行抛光时出现易皱折、均匀度难以控制、超薄柔性衬底材料的尺寸受回转工作台尺寸的限制，只能是单张批量生产、装夹困难、对超薄柔性衬底材料进行尺寸分割、不能成卷进行抛光等问题，该抛光机不需要对超薄柔性显示衬底材料进行分割，可直接成卷进行连续抛光，可与后续电路制程相接轨抛光效率高；克服了单张批量生产效率低的问题，超薄柔性衬底材料的长度不受限制；适合对长方型超薄柔性衬底材料整卷的抛光，与目前的显示器形状一致，并且可实现单面也可实现双面抛光，整卷装卸简单，缩短了工件的装卸时间，提高了抛光效率；可实现超薄柔性显示衬底粗抛和精抛，一次达到表面质量的最终需求，并且设计有清洗机构，可以在抛光后进行表面清洗。整卷抛光后，可直接入库，进入下一个制程。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术卷到卷高效连续化学机械抛光机示意图；图2为本专利技术卷到卷高效连续化学机械抛光机侧视图；图3为本专利技术卷到卷高效连续本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：包括六个抛光辊装置，六个所述抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。

【技术特征摘要】
1.一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：包括六个抛光辊装置，六个所述抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。2.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述放卷装置包括放卷机架和放卷辊，所述放卷辊两端分别连接有连接轴，所述连接轴通过深沟球轴承和轴承座设置于所述放卷机架上；其中一个所述连接轴外侧连接有制动盘，所述制动盘外套设有制动器壳；所述放卷机架上安装有收集箱，所述收集箱位于所述放卷辊下方。3.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述收卷装置包括收卷机架和收卷辊，所述收卷辊一端通过连接轴设置于所述收卷机架上，另一端通过传动轴设置于所述收卷机架上，所述传动轴端部连接有减速电机。4.根据权利要求1所述的卷到卷高效连续化学机械抛光机，其特征在于：所述第一水平调速检测装置包括调速机架，所述调速机架上安装有水平调节辊；所述调速机架顶端安装有传感器机架，所述传感器机架下端安装有传感器探头，所述传感器探头位于所述水平调节辊上方；所述第二水平调速检测装置与第一水平调速检测装置结构相同。...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏建修，王永胜，陈绍坤，王占奎，李勇峰，刘亚明，马利杰，付成果，
申请(专利权)人：河南科技学院，
类型：发明
国别省市：河南,41