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本实用新型公开了一种兆声清洗装置的喷管及用于晶圆清洗的兆声清洗装置。喷管的一端引入流体，喷管的另一端用于将流体导流到旋转的工件上，喷管包括：共用管体；喷头，喷头连接在共用管体的一端，喷头朝向工件表面设置；液体进管，液体进管连接在共用管体上以...
该专利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;天津华海清科机电科技有限公司授权不得商用。

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