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一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构，不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道过渡连接，还可直接应用到涡轮分子泵入口结构，将涡轮分子泵泵入口直接过渡到小口径形式，可直接与小口径真空管道相连，与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比，可将...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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