下载一种ITO烧结靶材的制备方法的技术资料

文档序号:19707870

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本发明公开了一种ITO烧结靶材的制备方法,包括以下步骤:将In2O3粉末和SnO2粉末一起经湿法球磨,得ITO浆料,其中,In2O3粉末和SnO2粉末的原始粒径比为1:(1.0‑2.0),In2O3粉末的原始粒径为50nm‑200nm;将所...
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