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本发明提供了一种整列装置的限位顶针，其包括支撑主体和气囊，所述气囊固定于所述支撑主体上，并且所述气囊的至少部分外表面露出所述支撑主体。整列装置中数个限位顶针形成多个用以夹持基板的矩形阵列，气囊的外表面与基板接触，防止损伤基板。...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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