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晶片的加工方法技术
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文档序号:19698374
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提供晶片的加工方法,对晶片的背面侧进行磨削时能够充分抑制正面侧所存在的凹凸的影响,磨削后的处理也简单。该晶片的加工方法包含:环状槽形成步骤,对在正面具有器件区域和围绕器件区域的外周剩余区域的晶片的正面侧沿着外周剩余区域的内周形成深度超过晶片...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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