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本发明涉及飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器，利用飞秒激光加工装置加工光器件时，飞秒脉冲激光光束依次经过半波片、反射镜、显微物镜后聚焦到固定于六自由度工作平台上的基底材料，聚焦后的飞秒脉冲激光光束在六自由度工作平台的运动过程中将基...
该专利属于湖北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖北工业大学授权不得商用。

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