【技术实现步骤摘要】
飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器
本专利技术属于激光加工领域，具体涉及飞秒激光加工装置及其加工的1x8脊型光分路器。
技术介绍
随着激光器的诞生以及高锟等人提出的利用包层材料的石英玻璃光学纤维以降低损耗这一卓越贡献，光在通信中的应用便有了基础，而光纤就是最初的波导。作为无源光网络的基础性部件，光分路器用于光信号的功率耦合及再分配。它可以在光波长大小的介质中限制光波，并在无辐射的情况下长距离的传输。它具有波长不灵敏，体积小，可靠性高，光分束的均匀性好，工作波长范围宽等特点。目前光分路器的制作多采用化学刻蚀、离子刻蚀等方法，上述方法加工步骤繁琐，对加工环境要求较高，加工成本较高。随着波导理论与制造业的发展，在现代微波工程中，为了满足微波传输系统性能，研究出特殊截面形状的脊型波导，脊型波导具有低主模截止频率、宽频带和低阻抗特性。
技术实现思路
本专利技术一方面的目的在于提供一种飞秒激光加工装置，包括：发出飞秒脉冲激光光束的飞秒激光器；接收并反射所述飞秒脉冲激光光束的反射镜；接收来自所述反射镜的飞秒脉冲激光光束、并对所述飞秒脉冲激光光束进行聚焦的显微物镜；六自由度...
【技术保护点】
1.一种飞秒激光加工装置，其特征在于，包括：发出飞秒脉冲激光光束的飞秒激光器(10)；接收并反射所述飞秒脉冲激光光束的反射镜(12)；接收来自所述反射镜(12)的飞秒脉冲激光光束、并对所述飞秒脉冲激光光束进行聚焦的显微物镜(13)；六自由度工作平台(15)，具有放置基底材料(16)的加工区，所述聚焦后的飞秒脉冲激光光束在六自由度工作平台(15)的运动过程中将基底材料(16)光刻成光器件；对所述加工区域进行吹气的吹气部(14)；对所述吹气部(14)吹送来的气体进行吸除的吸气部(17)；监测所述基底材料(16)形貌的CCD相机(18)；以及计算机(19)，所述计算机(19)根据...
【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光加工装置，其特征在于，包括：发出飞秒脉冲激光光束的飞秒激光器(10)；接收并反射所述飞秒脉冲激光光束的反射镜(12)；接收来自所述反射镜(12)的飞秒脉冲激光光束、并对所述飞秒脉冲激光光束进行聚焦的显微物镜(13)；六自由度工作平台(15)，具有放置基底材料(16)的加工区，所述聚焦后的飞秒脉冲激光光束在六自由度工作平台(15)的运动过程中将基底材料(16)光刻成光器件；对所述加工区域进行吹气的吹气部(14)；对所述吹气部(14)吹送来的气体进行吸除的吸气部(17)；监测所述基底材料(16)形貌的CCD相机(18)；以及计算机(19)，所述计算机(19)根据所要加工成的光器件的形状结构控制所述六自由度工作平台(15)运动，并将CCD相机(18)采集的图像与光器件设计形貌进行对比，实时调节飞...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶青，卢博闻，刘顿，陈列，娄德元，杨奇彪，翟中生，郑重，成健，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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