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本发明公开了一种基于多波长迭代算法的透射性元件缺陷检测装置及方法。本发明通过在多波长梯度加速迭代相位恢复算法实验装置中，采用可调波段范围达到150nm以上且性能良好的固体激光器形成七种不同波长入射光，通过探测器采集缺陷透射后的多幅散射光强图...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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