下载一种用于封装半导体元件用的烤箱及其使用方法的技术资料

文档序号:19684311

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本发明公开了一种用于封装半导体元件用的烤箱及其使用方法,包括烘烤部,所述烘烤部的上部设有驱动部,且烘烤部的底部对称设有四组弹性单元,四组所述弹性单元的底部均安装有万向轮。本发明,可实现分层利用不同的温度对封装过程中半导体元件的烘烤,可以避免...
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