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本实用新型提供的接触式曝光用防粘铬版，在铬版最下表面设置一层二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜，由于二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜具有极低的表面张力，与光刻胶之间没有粘性，因此，可以有效避免在...
该专利属于信利光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利光电股份有限公司授权不得商用。

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