下载用于真空镀膜装置的样品台的技术资料

文档序号:19676038

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本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定挡板机构、壳体、膜厚检...
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