温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定挡板机构、壳体、膜厚检...该专利属于杭州赛威斯真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州赛威斯真空技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定挡板机构、壳体、膜厚检...