下载基于CMOS的光电加速度传感器的技术资料

文档序号:19657112

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器,采用MEMS平面加工,该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板,X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y(X)轴运动时,Y(X)向遮光板产生的...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。