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本发明提供一种真空排气装置、真空泵及真空阀，真空排气装置可抑制大型化且可实现实效排气速度的提高。真空阀(2)将排气口凸缘(202的开口径设定为大于吸气口凸缘(201)的开口径，并且具有包含排气口凸缘(202)的开口且流路剖面积发生变化的气体...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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