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一种应用于中红外波段的硫系波导结构制造技术
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文档序号:19634030
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一种应用于中红外波段的硫系波导结构,其特征在于:包括衬底,缓冲层,低折射率层和光传输层,所述缓冲层位于衬底上,所述低折射率层位于所述缓冲层上,所述光传输层位于所述低折射率层上,所述低折射率层和光传输层为硫化物玻璃制备的硫化物薄膜层,所述缓冲...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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