下载基于激光器波数合成的样件内部轮廓检测方法及系统的技术资料

文档序号:19632403

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本发明公开了一种基于激光器波数合成的样件内部轮廓检测方法及系统。所述检测方法包括:获取多个可调谐单频激光器的波数;对多个所述波数在时间轴上依次进行线性调频,确定波数序列;根据所述波数序列确定时间序列干涉条纹图像信号;对所述时间序列干涉条纹图...
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