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本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆片抛光装置，其可以在放置板顶端设置可以调节尺寸的调节夹，从而可以固定多种尺寸的晶圆片；同时将抛光机固定在支架上工作，降低人为因素对抛光机加工精度的影响；同时可以提高粗轮抛光机和细轮...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。

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