下载区熔提纯高纯锗晶体材料的装料容器的技术资料

文档序号:19609675

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本实用新型涉及区熔提纯高纯锗晶体材料的容器。为双层石英舟,双层石英之间抽真空处理,然后填充石墨层,石英舟后端设置一个挡板,将石英舟后端隔离出一个杂质收集槽,杂质收集槽为单层石英结构,挡板上还设置了凹槽。产生的熔区比传统的加热环与线圈所产生的...
该专利属于云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司授权不得商用。

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