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本发明公开了一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括真空腔体及真空泵，还包括加热装置，所述加热装置包括底桶及压盖；还包括驱动部，所述驱动部用于驱动压盖沿着底桶开口端的朝向方向运动；还包括样品存储台，在所述压盖扣合于底桶开口端上时，所...
该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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