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本申请公开了一种压力计组件及真空干刻蚀装置，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输...
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