压力计组件及真空干刻蚀装置制造方法及图纸

本申请公开了一种压力计组件及真空干刻蚀装置，本申请的压力计组件包括传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管道连接；第一压力计，第一压力计与第一气动阀的另一端连接，第一压力计在第一气动阀开启时与传输管道连通。通过将第一气动阀的一端与传输管道连接，另一端与第一压力计连接，能够降低与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
压力计组件及真空干刻蚀装置
本申请涉及干刻蚀
，特别是涉及一种压力计组件及真空干刻蚀装置。
技术介绍
干刻蚀为通过等离子体对金属薄膜进行刻蚀的技术，主要原理是利用电磁场对等离子体进行引导和加速，从而使等离子体轰击待刻蚀的金属薄膜。在刻蚀时，压力对刻蚀得到的金属线的线宽有较大影响，一般通过压力计实现对真空干刻蚀腔内的压力进行检测。通过传输管道将压力计安装在真空干刻蚀腔上，现有技术中，因与压力计连接的管道的转角数量多使得干刻蚀过程中的生成物附着在压力计上，造成堵塞，影响压力计的精度，使压力计频繁出现偏移、压力不稳定。而定期对压力计进行校正归零会耗费人力工时，且频繁进行校正归零会降低压力计的使用寿命。因此，有必要提出一种压力计组件及真空干刻蚀装置，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本申请主要解决的技术问题是提供一种压力计组件及真空干刻蚀装置，通过压力计组件能减少与压力计连接的管道的转角数量，从而降低堵塞程度，进而提升压力计的精度以及刻蚀得到的产品的质量。为了解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是提供一种压力计组件，该压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，第一气动阀的一端与传输管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力计组件，其特征在于，所述压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，所述第一气动阀的一端与所述传输管道连接；第一压力计，所述第一压力计与所述第一气动阀的另一端连接，所述第一压力计在所述第一气动阀开启时与所述传输管道连通。

【技术特征摘要】
1.一种压力计组件，其特征在于，所述压力计组件包括：传输管道；第一气动阀，所述第一气动阀的一端与所述传输管道连接；第一压力计，所述第一压力计与所述第一气动阀的另一端连接，所述第一压力计在所述第一气动阀开启时与所述传输管道连通。2.根据权利要求1所述的压力计组件，其特征在于，所述压力计组件进一步包括第二气动阀与第二压力计，所述第二气动阀的一端与所述传输管道连接，所述第二压力计与所述第二气动阀的另一端连接，所述第二压力计在所述第二气动阀开启时与所述传输管道连通。3.根据权利要求2所述的压力计组件，其特征在于，所述第一压力计的最大测量值为0.1托，所述第二压力计的最大测量值为2托。4.根据权利要求2所述的压力计组件，其特征在于，所述压力计组件还包括大气真空检测计，所述大气真空检测计与所述传输管道连接。5.根据权利要求2所述的压力计组件，其特征在于，所述压力计组件还包括第三气动阀以及安装在所述第三气动阀上的底压漏率测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：张桂军，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42