下载一种阵列式压力传感器的技术资料

文档序号:19590408

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本发明提供了一种阵列式压力传感器,包括:封装基底,其构造成板状;多个传感芯片,多个传感芯片包括第一传感芯片、第二传感芯片和其它传感芯片;多个柔性封装盖,其构造成可形变的,柔性封装盖包括第一柔性封装盖、第二柔性封装盖和其它柔性封装盖,第一柔性...
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