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微机电传感器和MEMS装置制造方法及图纸
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文档序号:19584768
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本公开涉及微机电传感器和MEMS装置,其具有:半导体材料的传感器裸片,其具有在水平面内延伸的前表面和下表面,并且由具有沿垂直方向的厚度的横向于水平面的紧凑块体区域平面;压阻元件,集成在传感器裸片的块体区域中,位于其前表面处;以及帽状裸片,其...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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