下载一种基于表面纳米轴向光子结构回音壁微腔的探针式微位移传感系统的技术资料

文档序号:19564059

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本发明公开了一种基于表面纳米轴向光子(SNAP)结构回音壁微腔的探针式微位移传感系统,包括调谐激光器、偏振控制器、耦合波导、光电探测器、SNAP结构微腔和位移装置。调谐激光器产生的扫频激光,经偏振控制器和耦合波导进入SNAP结构微腔,光电探...
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