下载在纳米压印光刻中的固化基材预处理组合物的技术资料

文档序号:19561256

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纳米压印光刻法包括将预处理组合物配置在纳米压印光刻基材上以形成预处理涂层;将压印抗蚀剂的离散部分配置在预处理涂层上,所述压印抗蚀剂的各离散部分覆盖纳米压印光刻基材的目标区域。压印抗蚀剂是聚合性组合物并且包含聚合引发剂。随着压印抗蚀剂的各离散...
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