下载金属构件、其制造方法及装备有上述金属构件的处理腔室的技术资料

文档序号:19559301

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭露一种金属构件以及一种具有所述金属构件的处理腔室,更特定而言,本发明是有关于一种金属构件以及一种装备有所述金属构件的处理腔室,通过将不具有孔的阳极化障壁层形成于用于显示器或半导体的制造工艺以及具有其的处理腔室中的金属构件的表面上,所...
该专利属于ABM股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ABM股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。