下载一种X光宽带选能器件及其制作方法的技术资料

文档序号:19554517

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本发明公开了一种X光宽带选能器件,该选能器件包括纳米柱阵列、薄金属层和支撑膜;纳米柱阵列制作在薄金属层的上表面,薄金属层的下表面粘贴支撑膜。该选能器件具有微元尺寸小、选能精度高的优点,可应用于空间分辨几个微米的成像诊断设备,实现带谱成像诊断...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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